热偶真空计
热偶真空计同电阻真空计一样，是目前在低真空测量中应用最广泛的真空计，它的工作原理是根据在低压下气体分子的热传导与压力有关的原理制成的。测量范围为10~10Pa。由于该真空计并不能直接通过气体的热传导系数与压力关系的计算来进行真空度的准确测量，必须事先在标准装置上进行校准，因此，热偶真空计属于相对真空计。
热偶真空计主要有热偶规管和测量仪器两部分组成。热偶规管的基本结构是在一个玻璃或金属管中固定两根金属丝，一根金属丝通以恒定的直流电流，称为热丝，另一根实际是一组热电偶，用以测量热丝的温度变化。
热阴极电离真空计
热阴极电离真空计历史较长，是测量高真空的主要仪器。目前，这种真空计使用非常广泛，在习惯上常将它简称为电离真空计。它是利用气体分子电离的原理来测量真空度的仪器。利用热阴极发射的电子束进行电离的，故称为热阴极电离真空计。
冷阴极电离真空计
由于热阴极电离真空计规管存在着发射电子的高温阴极，在高压下不能工作甚至被毁，且存在着规管放气、化学清除作用等有害现象，限制了它的应用范围。特别是在那些工作过程中具有大量放气和易于暴露大气的真空设备上不太适用。因此，发展一种不用热阴极的电离真空计是很需要的，这便产生了冷阴极电离真空计(相对热阴极电离真空计而言)。由于它主要利用低压气体在强电场和磁场下的冷阴极放电作用，将气体分子电离的原理，因此它又称为冷阴极放电式真空计，或称磁放电真空计。
冷阴极电离真空计有普通型磁放真空计、倒置磁控管式真空计、正磁管式真空计等。各种形式的冷阴极电离真空计都有它的特点，都是测量高真空的主要仪器。
复合式真空计
常用的复合式真空计有两种，一种是热偶真空计和热阴极电离真空计组合成的复合真空计，是目前使用最广泛的真空计之一;另一种复合式真空计是把电阻真空计和冷阴极电离真空计组合在一起。
B-A式超高真空电离计
测量超高真空的仪器有如下3种:B-A式热限极电离真空计、冷阴极磁控式电离真空计、场致显微镜。其中，B-A 式热阴极电离真空计是一般圆简形收集极热阴极电离真空计的发展，为了便于与后两种区分，在习惯上就称B-A式热阴极超高真空计，又简称为B-A式真空计或 B-A 规。
极高真空测量仪器
目前，极高真空测量仪表的工作原理及测量仪表主要有改进型的B-A 式电离真空计、冷阴极磁控式电离真空计、热阴极磁控式电离真空计。
