爪型干式真空泵应用中选型的3个要素。
工作真空;用户需要根据正常工作需要的压力范围来选型。在3~10^5Pa压力范围内,均可以选用单台爪型干式真空泵来完成;10~10^-2Pa压力范围内。通常选用罗茨泵+爪型干式真空泵泵组来实现;10^-2~10^-5Pa压力范围内,通常选用分子泵(低温泵)+爪型千式真空泵泵组来实现。
被抽气体类型:普通空气、可凝性气体、清洁抽空、腐蚀性气体、易燃气体、易爆气体、放射性气体和有毒气体。通常决定爪型干式真空泵的型号大小。
泵的大小:通常需要靠选用爪型干式真空泵的抽速来决定选用的型号。
爪型干式真空泵特别适用于真空度达1Pa,含水分和硬质腐蚀颗粒的半导体芯片、光学通讯设备及平板显示器等高科技行业的苛刻工艺流程。在众多的干式真空泵中,爪型干式真空泵是备受半导体、光学器件等高科技行业青昧的一种容积式干式真空泵。
除此之外,爪型干式真空泵还应用于化工、核工业、薄膜、仪器、医药生物制品和食品等领域。