齿式（旋齿式）压缩机与部分爪型真空泵有相同的机械结构。
爪形于式机械真空泵（简称爪式泵）主要有泵腔内无油、无介质污染、单泵真空度高等优点，理论上爪型干式真空泵内不会有水存在，酸性气体无法形成酸液，对设备无腐蚀，且设备内有少量颗粒杂质能排出泵体，减少在设备内发生累积造成设备卡死故障发生。这是其他类型的真空设备无法比拟的。
与罗茨真空泵类似，转子由一对同步高精度齿轮来带动旋转并固定相位。转子之间及转子与泵壳之间并不接触，留有微小的间隙。气体的进气口和排气口均设在泵壳的端面上，分别由两个转子端面周期性地定时开闭，具有阀的调节作用。
在爪型干式真空泵的泵腔内，平行放置着一对转轴，即主动轴和从动轴。这一对转轴靠连接在轴端的由电机驱动的啮合齿轮保持同步运转。爪型干式真空泵正是利用连接在两轴上的成对的爪型转子之间、转子与泵腔内壁之间及转子与隔板之间进行有间隙、无摩擦的合所形成的密闭腔的容积的大小变化来完成吸、排气过程。
爪型干式真空泵由转子、泵体、主动轴、从动轴、吸气口、排气口和隔板等多个部分组成。工作过程为:两个转子按箭头方向旋转时，吸气口与泵腔接通，泵腔容积变大吸气。当转子关闭吸气口时，吸气终了。之后泵腔变小而压缩气体，当排气口打开后，泵腔排气:排气口关闭时，则排气完毕，如此循环工作。
爪型于式真空泵可以做成单级，也可以做成多级。目前，爪式真空泵主要有二级、三级和四级。多级千泵有卧式和立式两种结构。卧式泵结构就是转子轴水平放置，主动轴与电机输出轴相连，结构简单，但轴向定位不易保证，且尺寸较大。立式泵结构的转子轴垂直布置，转子轴与电机输出轴靠齿轮传动。
多级爪型干式真空泵根据转子工作原理和具体结构可分为螺旋型、反爪型及螺旋反爪型3种。螺旋型：一对转子作为一级，第一级的排气口位置设计有一个长长的通道，以便于第一级排出去的气体进入第二级的进气口，同时为了保证在第一级排气时，第二级开始吸气，所以第二级的同步转子对比第一级落后一定角度的相位差。依此方法布置第三级转子对、第四级转子对、通道。如此便形成了各级转子对依次沿着旋转方向在相位角度上落后于上一级，串联在主轴上，呈现螺旋型布局。
反爪型：第一级的排气口和第二级的进气口在同一位置，即第一级和二级的转子对的爪型转子是相反的，第三和第四级的转子对也是相反的。这样便形成了第一级和第三级结构相同，第二级和第四级结构相同，级间交错分布，称之为反爪型。
螺旋反：爪型:可以看作螺旋和反爪的结合体，即上一级转子为正爪，则下一级转子为反爪，正反交错布置，同时各级间有一定的相位差，形成螺旋型，故称作螺旋反爪型。
