涡旋千泵的工作原理如图3-178所示。静涡旋和动涡盘的涡旋基本相同两者的相位错开 180”,在两个涡旋体之间形成了一系列月牙形压缩腔。涡旋转子每回转90°按顺时针方向作圆周运动时的状态。
涡旋真空泵与其他干泵相比有许多独特的优点,主要表现在以下几个方面。
间隙小、泄漏小、具有较高的压缩比,在较宽的压力范围内有稳定的抽速。
工作压力范围宽。由于压缩腔容积的变化是连续的,因此驱动扭矩和功率变化小。
由于动静涡盘形成的工作腔是对称的,且泵的结构简单、零部件少!故工作平稳,振动小,噪声低,工作可靠性高。
涡旋型线从等截面优化为变截面,使抽除气体的能力大大增强。
能在大气压下(10^5Pa)启动,可直排大气独立工作。
对被抽容器无污染,可抽除可凝性气体。
涡旋式真空泵性能优越,作为新型的无油真空泵在国内外真空行业越来越引起人们的重视,在许多行业都得到了广泛的应用,尤其是随着涡轮分子泵、复合分子泵和低温泵的广泛使用,人们在寻找一种和这些完全无油的高真空泵相匹配的无油前级真空泵,而无油涡旋真空泵正好符合这一要求。