不同性能的真空泵，在各真空系统中有着不同的应用主要有下面这些。
主泵，在真空系统中用来获得所需的真空度。粗抽泵，通过降低系统压力满足另外一个抽气系统开始工作的真空泵。前级泵，其作用是使另外一个泵前级压力维持在其最高许可的前级压力以下的真空泵。前级泵也可以做粗抽泵使用。
维持泵在真空系统中，当抽气量很小时，不能有效地利用主要前级泵，为此，在真空系统中配置一种容量较小的辅助前级泵，维持主泵正常工作或维持已抽空的容器所需之低压的真空泵。
粗(低)真空泵从大气压开始，降低容器压力且工作在低真空范围的真空泵。
高真空泵在高真空范围内工作的真空泵。
超高真空泵在超高真空范围内工作的真空泵。
增压泵装于高真空泵和低真空泵之间，用来提高抽气系统在中间压力范围内的抽气量或降低前级泵容量要求的真空泵(如机械增压泵和油增压泵等)。
