一种能使气体不断吸入和排出泵外,以达到抽气目的的真空泵。这种气体输送泵分为变容式和动量传输式两大类。
变容真空泵
变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气、压缩和排气的装置这种泵分为往复式和旋转式两种。
往复式真空泵:利用泵腔内活塞的往复运动,将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。
旋转式真空泵:利用泵腔内转子的旋转运动,将气体吸入、压缩并排出。属于此类的真空泵种类最多。
油封式机械泵,利用油类密封各运动部件的间隙,减少有害空间的一种旋转式变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置(防止蒸汽凝结从而避免油污染),故称气镇式真空泵。按其结构特点分为旋片泵、定片泵、滑泵、余摆线泵及多室旋片泵等。
无油真空泵,目前所谓的干式真空泵,一般通用的说法是:能在大气压到 10的-2次方Pa的压力范围内工作的真空泵,在泵的抽气流道(如泵腔)中,不能使用任何油类和密封液体,排气口与大气相通,能连续向大气中排气的真空泵,即称为干式真空泵。按其工作原理分,也可分为容积式干式泵,如多级罗茨泵、多级活塞泵、爪型泵、螺杆泵、涡旋泵等;此外还有动量传输式干式泵,如涡轮干式泵、离心干式泵等。这种泵的抽气不再有油的污染。
液环真空泵,带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当转子旋转时,把液体(水或油类)抛向泵壳,形成与泵壳同心的液环,液环同转子上的叶片形成了容积周期性变化的几个小容积,实现吸气、压缩和排气,由于液环起到压缩气体的作用,故又称它为液体活塞真空泵。
罗茨真空泵泵,内装有两个相反方向同步旋转的双叶或多叶形的转子,转子间、转子与泵壳内壁之间均保持有一定的间隙。它属于无内压缩的真空泵。按用途又分为湿式罗茨泵、直排大气式罗茨泵和机械增压泵等类型。