动量传输式真空泵是利用高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给被抽气体或气体分子,使之吸入、压缩、排气的一种真空泵。这种泵可分为以下几种类型。
分子真空泵,利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种形式。
牵引分子泵,高速旋转的转子表面与气体分子相碰,把动量传给气体分子,将气体分子拖动到泵的出口排出。
涡轮分子泵,泵内装有多级带槽的圆盘或叶片的转子,在定子圆盘(或定子)间旋转,转子的圆周线速度很高,这种泵通常在分子流状态下工作。
复合式分子泵,是由涡轮分子泵和牵引分子泵经优化组合,串联起工作的一种真空泵,可在分子流或过渡流状态下工作。
喷射真空泵,利用文丘里效应的压力降产生的高速射流把气体输送到泵出口的一种动量传输泵,适于在黏滞流和过渡流状态下工作的真空泵这种泵又可细分为以下几种。
水喷射泵,以水为工作介质的喷射真空泵。
气体喷射泵,以非可凝性气体(如空气)作为工作介质的喷射泵。
蒸汽喷射泵,以蒸汽(水、油或汞等蒸汽)作为工作介质的喷射泵其中水蒸气喷射泵应用较多,油蒸气喷射泵,也称作油增压泵或称油扩散射泵。
扩散泵,以油或汞蒸汽作为工作介质。
气体捕集泵
气体捕集泵一种将被抽气体吸附或凝结在泵内表面上的真空泵,它分为以下几种。
吸附泵,主要依靠具有大表面积的吸附剂的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵,如吸附阱、吸气剂泵。此外还有连续不断形成新鲜的吸气剂膜的捕集式真空泵,如溅射离子泵、热蒸发的升华泵等。
低温泵,利用低温表面来冷凝捕集气体的真空泵,如冷凝泵、小型制冷机低温泵等。