流量
在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体量称为泵的流量，在真空技术中，流量的单位用帕立方米每秒(Pa·m³/s)或帕立方米每小时(Pa·m³/h)等来表示。通常泵要给出流量与入口压力的关系曲线。
极限压力
将真空泵与检测容器相连，进行长时间连续地抽气，当容器内的气体压力不再下降，而维持某一定值时，此压力即为泵的极限压力，其单位用Pa表示。
抽气速率
在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体的体积称为泵的抽气速率即气体 A 的抽气速率s(m³/s)为流量Q(Pa·m³/s)除以测试罩内这种气体 A 的分压力P 而得。如：s = Q / P。一般真空泵的抽气速率与气体种类有关。给定的抽气速率，表示对某种气体的抽气速率。如无特殊标明，多指抽空气而言。
真空度的百分数与压力p对照
| 真空度的百分数 | 压力 P | 真空压力表读数 | 真空度的百分数 | 压力 P | 真空压力表读数 |
| 0 | 100000 | 0 | 85 | 15000 | 85000 |
| 10 | 90000 | 10000 | 90 | 10000 | 90000 |
| 20 | 80000 | 20000 | 95 | 5000 | 95000 |
| 30 | 70000 | 30000 | 96 | 4000 | 96000 |
| 40 | 60000 | 40000 | 97 | 3000 | 97000 |
| 50 | 50000 | 50000 | 98 | 2000 | 98000 |
| 60 | 40000 | 60000 | 99 | 1000 | 99000 |
| 70 | 30000 | 70000 | 99.5 | 500 | 99500 |
| 80 | 20000 | 80000 | 100 | 0 | 100000 |
