热式质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量，还可间接测量介质的温度。由于变送器是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述3个基本量导出十几种参数供用户使用。热氏质量流量计组态灵活，功能强大，性价比高，是新一代流量仪表。
热式质量流量计根据加热元件的热传递来测量质量流量。气体流动时，气体从流量计加热源表面带走的热流量。
热式质量流量计按流体对检测元件热源的热量作用可分为热量传递转移效应式和热量消散效应或冷却效应式；按测量变量可分为温度测量法和功率消耗测量法；按流量传感器结构可分为（有测量管的）接入管道式和插入式。
每台热式质量流量计包含两个温度传感器，一个传感器测量实际的流体温度作为参考值，另一个传感器被加热，在“零流量”时保持两个传感器之间的温差恒定。当流体经过测量管时，带走热量，使被加热的传感器冷却。为了维持恒温差，需要更高的加热功率，从而加热功率与质量流量之间存在某种函数关系。这种流量测量方法只取决于气体分子的数量，与气体压力和温度无关，因此无须温压补偿。热式质量流量计是所有流量计技术里量程比最宽的一种测量原理。
热式质量流量计安装结构式可分为管道式和插入式，对于小管径（小于DN40）应用，推荐使用管段式安装，大管径推荐使用插入式安装，极大降低安装、运维成本。
优点：直接测量质量流量；精确度高，可测量超低流速；量程比宽；几乎无压损，利于节能；可实现插入式安装，带压不停气施工;不怕振动、电磁干扰。
缺点：温度变化带零点漂移，抗污染能力差，测量原理强非线性；校准要求高。
