和喷油螺杆空压机同理，干式无油螺杆空压机机组系统分为动力系统、冷却系统、润滑油系统、压缩气体系统、控制系统等组成。
动力系统
与喷油螺杆空压机没有不同，干式无油螺杆空压机主要是两级压缩，而且转速更高。其传动和增速方式还是有区别的。如干式无油螺杆空压机都是通过齿轮传动。用于工艺压缩机，原动机为蒸汽轮机或燃气轮机时，可以采用直联驱动的方式。当压缩介质为空气是就是通过电动机与增速齿轮的方案。
下图为常见的双级并联，这种方案可以使得转子能够获得最佳齿顶速度，而且结构更加紧凑制造方便等特点。除了采用单电机驱动以外还有采用双级双驱动方式，主要应用于变频干式无油螺杆空压机上。通过双电机分别却动两级转子，两级转子的转速可以由控制系统分别控制。并且不会受到齿轮齿数比的限制，从而达到更好的压比以及压缩效率。
空气压缩系统
相比喷油螺杆空压机干式无油螺杆空压机，因为没有润滑油参与润滑因此不需要油气分离器，主机区别在之前文中说过了看这篇《干式无油螺杆空压机原理及结构》。其他零部件与喷油螺杆空压机并没有多大区别，包括空气过滤以及容量调节等。
润滑油系统
因为没有润滑油参与压缩，因此需要油泵系统。为空压机、密封以及控制元件等提供油润滑。供油压力一般在0.15~0.2MPa，而供油泵是通过电机驱动以及齿轮驱动。不同类型机器润滑系统也有区别，风冷型机型润滑油还要对主机进行冷却，水冷型机型润滑油只需要对轴封、轴承等进行润滑。
冷却系统
干式无油螺杆压缩机多了一套级间冷却装置(或称中间冷却)，用于一级压缩后的气体冷却。同时还有一个冷却部位来冷却主机，一般采用夹套内通润滑油或者冷却水进行冷却。
控制系统
与喷油螺杆空压机类似，主要作用是显示与提醒、控制与记录、故障与保护。
