隔膜式压缩机也是容积式压缩机的一种，但从运动方式来说该机器也属于往复式压缩机。主要工作原理是通过变形中间膜片来改变受气腔，因此称为”膜片式”及膜压机。下图为隔膜式压缩机的主要结构，该机器具有非常好的密封性和安全性同时还不需要润滑油等特点。工作过程中压缩腔不与外界接触因此一般主要用来压缩高纯度的稀有气体。
1-进气阀；2-排气阀；3-膜片；4-活塞环；5-活塞；6-活塞杆
隔膜式压缩机工作原理
隔膜式压缩机其自身优异的特点应用非常广泛，其产生的气体可压力甚至可达700MPa。受设备设计本身膜片的变形量有一定限度，因此只能压缩用气量比较小的情况，单个机器一小时内压缩气体不超过100m³。隔膜式压缩机根据膜片材料分为有色金属和非金属膜片两种类型。
隔膜式压缩机之金属膜片
这种机器在1922年正式问世，有法国工程师Henri Corblin发明。采用金属膜片最大特点是可以使用液压驱动，其内部结构设计比较复杂，因此机器尺寸较大且不易加工，但是其压力最高可达700MPa。
隔膜式压缩机之非金属膜片
这种机型主要式非金属膜片通过橡胶或者塑料等材料，根据材料的特性其压力一般不超过1.6MPa，单极压缩最高不超过两级。隔膜式压缩机中气缸通过膜腔来完成。由弹簧垫片和弯形盖板来组成。当膜片出现上下挠曲变形来实现容积变化最终对气体进行压缩。
